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多线切割机

近年来，由于国家的重视，将极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题列入国家重大科技专项，另外，国内有关设备制造企业也看到了这个巨大的商机，大力投入人力物力开展艰苦的研制开发，先以模仿为主，逐渐转向自主创新，研制出有自身知识产权的多线切割机。金刚线切割技术相比传统的砂浆线切割技术的优势是，切割过程中无需使用砂浆，而是将金刚砂直接粘附于直钢线上进行切割。

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金刚石线切割机

金刚石线切割机常用的金刚石线有电镀型和树脂型两种。

1、电镀型：用电镀的方法在金属丝上沉积一层金属（一般为镍和镍钴合金），并在金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。金属镀层是结合剂，金刚石磨料则用于切削加工。

2,、树脂型：树脂金刚石线是在原有镀铜超细钢丝线上喷涂一种增强耐磨合金、特种树脂和金刚石超微粉的切割线，主要应用于单晶硅、多晶硅、蓝宝石、水晶、陶瓷和半导体材料的切割上，能取代目前碳化硅砂浆法，解决了环境污染。

高速线切割设备

树脂金刚石线的特点：

高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力，线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现，高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂，目前主要依靠进口，其成本较高，因此还得不到广泛的应用。

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