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金刚石线切割设备

金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。

目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如抗腐蚀性、电绝缘性,耐磨损性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用、，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。根据材料特性，一般硬度适中（莫氏硬度＜9）的脆性材料切割速度可适当快一些，如硅、石墨、压电陶瓷、玻璃等。

快速切割

环形金刚石线锯是一种新型的切割工具。是采用复合电镀、滚扎，涂胶等方式，将高硬度的金刚石磨料固结在环形钢丝基体上制成的。由于锯丝为环形，无惯性力，因此可以实现高速锯切。

金刚石线锯是晶体加工的新秀，它能切割水晶，玛瑙，宝石等脆硬、贵重材料，也可以实现黄金等有色、贵重金属的快速切割。更重要是金刚石线锯要向高精半导体行业进军。

环形金刚石线锯将成为有发展前途的切割技术。

?线切割设备

线切割设备的速度调整：

切割速度的大小不仅与材料的性质有关，与切割面的大小也有关系，同种材料切割时，被切面较大的切割速度设置就要相对较小一些。无论切割何种材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的试样面，速度太快切割后的样品表面会有明显的切割线痕迹，因此当要求切断试样同时还要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）时一般选用较慢的切割速度。树脂金刚石线的特点：高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力，线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现，高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。